电容式MEMS麦克风采用可变电容原理，当声波引起振膜振动时，电容值随之改变，进而转换为电信号。这类麦克风又可细分为单端式和差分式两种结构。单端式结构简单、成本较低，广泛应用于智能手机和智能音箱等消费电子产品；而差分式具有更好的抗干扰能力，信噪比通常可达70dB以上，特别适合需要高保真录音的专业设备。

压电式MEMS麦克风则利用了压电材料的独特性质——当受到声压作用时会产生电荷。这种设计不需要偏置电压，功耗更低，且能承受更高的温度。最新研究表明，采用氮化铝压电材料的麦克风在130°C高温环境下仍能稳定工作，这使它们在汽车电子和工业监测领域展现出独特优势。

在实际应用中，不同类型的MEMS麦克风各有所长。智能手机通常选用信噪比65dB左右的电容式麦克风，平衡了音质与成本；而助听器则更青睐超低功耗的压电式设计；在智能家居场景中，多麦克风阵列系统往往混合使用两种类型，分别负责远场拾音和近场交互。

随着人工智能和物联网技术的快速发展，MEMS麦克风正在向更高集成度、更智能化的方向演进。研究人员已成功开发出集成机器学习加速器的智能麦克风芯片，能够直接在设备端实现语音唤醒和关键词识别功能。这种本地化处理不仅提升了响应速度，还更好地保护了用户隐私。

选择合适的MEMS麦克风需要综合考虑频率响应、信噪比、功耗和环境适应性等多个参数。未来，随着新材料和新工艺的突破，我们有望看到性能更优异、功能更丰富的MEMS声学传感器，为各类智能设备提供更出色的听觉体验。